The orthogonal experiment method was designed, and some main factors affected the quality of substrate cleaning were investigated, such as the temperature of clean solution, cleaning time and ultrasonic power and so on.      本文介绍了超光滑基底清洗理论和方法，采用擦拭法和超声波清洗方法对硅片和玻璃基底进行清洗，设计了正交实验方法，讨论了溶液温度、清洗时间、超声功率等因素对于超声清洗效果的影响。   

     The orthogonal experiment method was used to optimize the technical parameters and the mechanism of mechanical polishing is advanced to be the micro-cutting.      使用正交实验方法优化了机械法抛光的主要工艺参数，提出了机械法抛光金刚石膜的机理主要是微切削，同时首次发现存在金刚石转变为非晶态碳的变化。   

     The effects of reaction time,reaction temperature,salt//alkali ratio and NaOH concentration on lanthanum nitrate/sodium hydroxide reaction and lanthanum hydroxide/stearic acid reaction were investigated with single factor method and orthogonal experiment method respectively,the optimal technical conditionsfor the two reactions were determined and their kinetics was studied.      采用单因素和正交实验方法对反应时间、反应温度、盐碱比、氢氧化钠浓度等因素分别对硝酸镧/氢氧化钠盐碱反应和氢氧化镧/硬脂酸皂化反应的稀土转化率的影响进行了考察,并确定了最优工艺条件和进行了动力学研究。