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英文: Abstract: A dual tunneling unit scanning tunneling microscopc(DTU-STM) is developed for nano-metrology.This article describes themeasurement concept and the instrument of the DTU-STM.The crystalline latt ice images werescanned by the DTU-STM to check the
中文: 文摘:研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜,介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统,利用该系统对原子晶格图象进行扫描,验证了纳米计量的可行性,给出了部分被测样品的纳米计量结果。
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