以下为句子列表：
英文: Aerial image distribution of a 0. μm contact hole with traditional mask, rim phase shifting mask (PSM), partial rim PSM, attenuating PSM are calculated based on Hopkins model, and the optimum parameters of different PSM are obtained.
中文: 基于霍普金斯 (Hopkins)理论 ,通过计算 0 . μm方孔的传统透射掩模、边缘相移掩模、部分边缘相移掩模、辅助相移掩模以及衰减相移掩模在硅片表面空间像的光强分布 ,找出了适合于各种相移掩模的最佳参数。
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