以下为句子列表：
英文: This thesis work has researched the fabrication technics of photonic crystal defect waveguide with air-bridge structure and collecting waveguide; Suggested using UV-lithography and wet etching to fabricate traditional waveguide, after that, using EB-litho
中文: 提出采用紫外光刻工艺制作传统波导结构之后，通过电子束曝光和干法刻蚀制作光子晶体小孔的工艺方案，大幅度减低了制作成本；设计出可形成空气桥结构、并且适用于电子束曝光位置识别的光刻模板，在SOI材料上成功制作出带有空气桥刻蚀预留槽以及接续光波导的结构，在该结构上成功实现了光子晶体带隙波导的电子束曝光，带隙波导与接续光波导位置接续良好；最后利用预留槽进行了刻蚀牺牲层的实验，为下一步利用光子晶体小孔刻蚀牺牲层形成空气桥结构打下了基础。
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