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silicon oxide
silicon oxide
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【电学】氧化硅
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以下为句子列表：
英文: Silicon/Silicon oxide nanofilms and multilayer films were prepared by vacuum evaporation process followed by natural oxidation.
中文: 摘要用真空蒸发技术和自然氧化法在玻璃衬底上制备纳米级的硅／氧化硅薄膜和多层膜。
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