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plasma etching
plasma etching
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【电学】等离子蚀刻【电学】等离子腐蚀
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以下为句子列表：
英文: The reactor is capable of working in the RIE (reactive ion etching) mode and also in the plasma etching mode.
中文: 反应腔拥有在RIE(反应离子刻蚀)模式和等离子刻蚀模式下工作的能力。
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